由開(kai)山上海通用(yong)機(ji)械研究院自主研發(fa)的(de)離(li)心式雙介質(zhi)氣體組合(he)壓縮機(ji)日前在江蘇某(mou)全球領先(xian)的(de)集成電(dian)路制造企業順利完成調(diao)試并投入使用(yong)，各項參(can)數達到設計(ji)要(yao)求，獲得(de)用(yong)戶好(hao)評(ping)。
眾所周(zhou)知，半(ban)導(dao)體(ti)(ti)行業(ye)八大核心材(cai)料(liao)(liao)中(zhong)，電子(zi)氣(qi)體(ti)(ti)是僅次于(yu)硅的(de)(de)主(zhu)要原(yuan)(yuan)材(cai)料(liao)(liao)，其(qi)在(zai)半(ban)導(dao)體(ti)(ti)晶圓制(zhi)造(zao)材(cai)料(liao)(liao)價值中(zhong)的(de)(de)占比為(wei)(wei)13.5%。電子(zi)氣(qi)體(ti)(ti)在(zai)電子(zi)產(chan)品制(zhi)造(zao)工藝(yi)中(zhong)廣泛應(ying)用(yong)于(yu)離(li)子(zi)注(zhu)入、刻蝕、氣(qi)相、沉(chen)積(ji)、摻雜等工藝(yi)，被稱為(wei)(wei)集成(cheng)電路(lu)、液晶面板、LED及光伏等材(cai)料(liao)(liao)的(de)(de)“糧食”和(he)“源(yuan)”。電子(zi)半(ban)導(dao)體(ti)(ti)器(qi)件的(de)(de)性能優劣與(yu)電子(zi)氣(qi)體(ti)(ti)的(de)(de)質(zhi)量(liang)息(xi)(xi)息(xi)(xi)相關，而高純(chun)(chun)度/超高純(chun)(chun)度氮是電子(zi)氣(qi)體(ti)(ti)中(zhong)極其(qi)重(zhong)要的(de)(de)成(cheng)員之一，其(qi)在(zai)惰性保護、載氣(qi)、特種氣(qi)體(ti)(ti)、管(guan)道(dao)吹掃排氣(qi)、稀釋、等離(li)子(zi)注(zhu)入等半(ban)導(dao)體(ti)(ti)生產(chan)工藝(yi)環節中(zhong)都是不可或缺(que)的(de)(de)原(yuan)(yuan)料(liao)(liao)氣(qi)和(he)工藝(yi)氣(qi)。而離(li)心式雙介質(zhi)氣(qi)體(ti)(ti)組(zu)合壓縮(suo)機組(zu)則是高純(chun)(chun)氮生產(chan)工藝(yi)中(zhong)的(de)(de)核心裝備。長期以來其(qi)該類(lei)型(xing)壓縮(suo)機市場一直(zhi)由美國企業(ye)所壟斷。
本次(ci)成功投(tou)運的(de)(de)機組是開山(shan)制(zhi)(zhi)造(zao)、完全自主知識產權(quan)的(de)(de)國(guo)產首(shou)臺套該(gai)類型壓縮機，其使用(yong)于一世界500強國(guo)際知名氣體(ti)公司的(de)(de)制(zhi)(zhi)氮(dan)系統(tong)之中，這(zhe)也是這(zhe)家(jia)企業首(shou)次(ci)與中國(guo)壓縮機廠商進行(xing)合作。本次(ci)投(tou)運成功，極大的(de)(de)提升了該(gai)公司高純氮(dan)制(zhi)(zhi)備系統(tong)的(de)(de)市場競爭(zheng)力。這(zhe)是雙方四(si)年(nian)共同努(nu)力的(de)(de)結果(guo)。
與此同(tong)時，兩套運用于(yu)國(guo)產高純氮制備系統的該類型壓縮機調試工作(zuo)也已收尾，各項參數達到(dao)設計(ji)需(xu)求，甚至部分參數超(chao)越了(le)設計(ji)需(xu)求.
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過去二十年里，開山持續(xu)在核心技(ji)術上進(jin)行(xing)大強度投入，逐步在螺桿、透平、往復(fu)等各(ge)類型壓(ya)縮(suo)機(ji)、膨脹機(ji)、真(zhen)空泵等諸(zhu)多(duo)領域構(gou)建起一定技(ji)術優勢。在目(mu)前(qian)“國(guo)(guo)產(chan)化(hua)(hua)”需求(qiu)日益高漲的(de)(de)(de)背景之下，這種技(ji)術優勢使得我(wo)們的(de)(de)(de)中國(guo)(guo)用戶(hu)(hu)不僅不會因“國(guo)(guo)產(chan)化(hua)(hua)”去犧牲所(suo)需設備(bei)的(de)(de)(de)品(pin)質(zhi)，反而(er)“國(guo)(guo)產(chan)化(hua)(hua)”后獲得了更可靠的(de)(de)(de)產(chan)品(pin)質(zhi)量和更低的(de)(de)(de)能源(yuan)消耗。而(er)對于我(wo)們的(de)(de)(de)國(guo)(guo)際用戶(hu)(hu)則是發現以開山為代表的(de)(de)(de)中國(guo)(guo)裝備(bei)為他(ta)們帶來(lai)了更大的(de)(de)(de)獲益。本次離心式雙(shuang)介質(zhi)氣體組合壓(ya)縮(suo)機(ji)的(de)(de)(de)投運成功只(zhi)是前(qian)述文(wen)字一個小小的(de)(de)(de)例證(zheng)吧(ba)。